高纯钛溅射靶材钛颗粒9999Ti纯度99999
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纯钛一般是指纯度(质量分数)大于99%的钛材料,其中高纯钛纯度可以达到4N级(99.99%),甚至更高。作为钛系列产品中的一员,高纯钛除具有密度低、熔点高、抗腐蚀性强等性质外,还具有强度低、塑性好(延伸率可达50%-60%,断面收缩率可达70%-80%)等特点,近年来,随着航空航天、电子信息等高科技产业的快速发展、高纯钛的用量也越来越多,采用合适的方法制造高品质、低成本的高纯钛,关系到这些行业的发展。
高纯钛的应用
相比一般的工业纯钛,高纯钛价格昂贵,应用范围较窄,主要用来满足一些特殊行业的使用。
钛是无磁性金属,在很强的磁场中也不会被磁化,且与人体有良好的相容性,无毒副作用,可以用来制造人体植入器件。一般医与用钛材并没有达到高纯钛的级别,但是考虑到钛中不纯物的溶出问题,植入件用钛的纯度尽可能高,高纯钛丝可用作生物捆扎材料,此外,内埋导管的钛制注入式针头也达到了高纯钛的级别。
近年来,随着半导体技术、信息技术等高科技领域的快速发展,高纯钛在溅射靶材、集成电路、DRAMS和平板显示器等方面的用量越来越大,对钛材的纯度要求越来愈高,在半导体超大规模集成电路行业,控制电极采用钛硅化合物、钛氮化合物、钨钛化合物等作为扩散阻挡层和配线材料,制造这些材料采用溅射法,而溅射法用的钛靶材对纯度要求很高,特别是对碱金属元素和放射性元素要求含量极低,近年来,其与之相配的溅射设备也开始使用与溅射钛靶材同等纯度的高纯钛,目前,对于4兆位的超大规模集成电路,要求钛的纯度达到4N5-5N,而16兆位的第三代超大规模集成电路则要求钛的纯度达到6N级。
钛在超高真空抽气系统中作为吸气剂而得到广泛的应用,如在升华泵、溅射离子泵,可使溅射离子泵的极限工作压强低至10-9Pa。
除了以上提到的几个应用领域外,高纯钛在特殊合金、功能材料领域也有应用,如制备钛镍形状记忆合金、和钛铝金属间化合物时要求钛的纯度在5N以上,而在海水净化、污水处理、制药等方面,高纯钛可以用来制造水净化装置的滤芯。
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